Hitachi-S9220
Hitachi S-9220 是由 日立（Hitachi） 生产的一款 高性能扫描电子显微镜（SEM），常用于半导体和纳米材料等领域的精密检测与分析。它也常见作 CD-SEM（Critical Dimension SEM），用于微纳工艺关键尺寸（CD）的测量与成像
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