Candela 8720
Candela 8720 是 KLA (原 KLA-Tencor) 推出的一款 先进的晶圆缺陷光学检测设备,用于高端复合半导体材料的表面和外延层缺陷快速检测与分析。它结合了多种光学检测技术和自动化 SPC(统计过程控制)流程,帮助半导体制造商提升质量控制水平与产线良率。
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Candela 8720 是 KLA (原 KLA-Tencor) 推出的一款 先进的晶圆缺陷光学检测设备,用于高端复合半导体材料的表面和外延层缺陷快速检测与分析。它结合了多种光学检测技术和自动化 SPC(统计过程控制)流程,帮助半导体制造商提升质量控制水平与产线良率。
Hitachi S-9220 是由 日立(Hitachi) 生产的一款 高性能扫描电子显微镜(SEM),常用于半导体和纳米材料等领域的精密检测与分析。它也常见作 CD-SEM(Critical Dimension SEM),用于微纳工艺关键尺寸(CD)的测量与成像
PANalytical XRD 指的是由荷兰 PANalytical(现为 Malvern Panalytical) 研发生产的 X 射线衍射仪器(X-Ray Diffraction,XRD)。这类设备用于材料科学、化学、矿物学、半导体、薄膜等领域的晶体结构分析与材料定性/定量检测。
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