Aixtron爱思强GaN G4-HT
Aixtron Aix 2800G4 HT MOCVD设备以多区精准温控、高温稳定生长和快速换型三大技术突破,将8英寸GaN外延均匀性偏差压至≤2%、SiC裂纹率降至0.5%,器件良率提升14-18%,双晶圆并行生长使产能翻倍,成为5G基站、新能源汽车和深紫外LED量产的核心引擎。
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Aixtron Aix 2800G4 HT MOCVD设备以多区精准温控、高温稳定生长和快速换型三大技术突破,将8英寸GaN外延均匀性偏差压至≤2%、SiC裂纹率降至0.5%,器件良率提升14-18%,双晶圆并行生长使产能翻倍,成为5G基站、新能源汽车和深紫外LED量产的核心引擎。
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