Veeco C4
Veeco C4 是美国 Veeco Instruments Inc. 生产的一款 金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统。它用于半导体行业中高性能外延材料的沉积,特别适合 III-V 化合物半导体(如 GaN、GaAs、InP 等)和相关光电电子器件的生产需求。
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