尼康11D
尼康11D 是日本 Nikon(尼康)公司出品的一款 投影式光刻机(Stepper/Scanner),用于半导体制造领域中的关键工艺环节—— 光刻(Photolithography)。该设备通过高精密光学系统,将光刻掩模(Mask)上的图形精准投影到涂有光刻胶的晶圆上,用于定义晶体管、电路互联等结构,是集成电路制造的核心装备之一。
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