Nikon 11C
Nikon NSR-S11C 是日本 Nikon(尼康) 公司推出的一款 步进式光刻机(Stepper / Scanner),用于 半导体晶圆上的微细图形曝光。该设备在芯片制造过程中用于将光刻掩膜(Mask / Reticle)上的图案精准转印到光刻胶覆盖的晶圆表面,并支持高分辨率、高对位精度的微纳结构曝光。
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Nikon NSR-S11C 是日本 Nikon(尼康) 公司推出的一款 步进式光刻机(Stepper / Scanner),用于 半导体晶圆上的微细图形曝光。该设备在芯片制造过程中用于将光刻掩膜(Mask / Reticle)上的图案精准转印到光刻胶覆盖的晶圆表面,并支持高分辨率、高对位精度的微纳结构曝光。
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管理员 –
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